稀有气体

稀有气体
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产 品 规 格

气体名称 化学式 纯度(%) 杂 质(ppm)
Ne 99.99% N2≤100 CO2≤1 CH4≤1
99.999% O2≤1, N2≤5, H2O≤2, He≤10
Kr 99.95% Xe≤50 N2≤1.5 O2+Ar≤5 H2≤2 CO2≤1 CO≤1 CH4≤1 H2≤3
99.99% N2≤20 O2+Ar≤5 H2≤2 总碳≤1 H2O≤3 Xe≤50 总杂质含量≤100
99.995% N2≤10 O2+Ar≤2 H2≤1 总碳≤1 H2O≤3 Xe≤3 总杂质含量≤10
99.999% N2≤3 O2+Ar≤2 H2≤0.5 总碳≤1 H2O≤2.6 Xe≤4 总杂质含量≤10
99.9999% Xe≤0.01, O2≤0.08, N2≤0.43, CO2≤0.12, CH4≤0.1, H2O≤0.1, CF4≤0.01, C4F6≤0.01
Xe 99.95% CO2≤5 CH4≤5 CH4≤1 N2O≤5 H2O≤5
99.99% N2≤20 O2+Ar≤5 H2≤2 总碳≤3 H2O≤3 Kr≤30 N2O≤1 总杂质含量≤100
99.995% N2≤10 O2+Ar≤4 H2≤1 总碳≤2 H2O≤3 Kr≤30 N2O≤1 总杂质含量≤100
99.999% N2≤1 O2+Ar≤2 H2≤0.5 总碳≤1 H2O≤2.5 Kr≤5 N2O≤0.5 总杂质含量≤10
99.9999%