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    电子混合气

    电子混合气
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    产 品 规 格

    品名 浓度 (%) 平衡气体 压力(MPa) 容积(L) 阀门
    硅烷混合气体 0.5-50 Ar、N2、He、H2 5-12 4-47 可根据用户要求提供
    磷烷混合气体 5ppm-23 Ar、N2、He、H2 5-12 0.7-17
    硼烷混合气体 5ppm-10 Ar、N2、He、H2 5-10 4-17
    砷烷混合气体 5ppm-5 Ar、N2、He、H2 5-12 0.7-17
    硒化氢混合 10ppm-5 Ar、N2、He、H2 5-12 4-17
    乙硅烷 5ppm-2 Ar、N2、He、H2 ≥5 0.7-17
    锗烷 5ppm-0.5 Ar、N2、He、H2 ≥5 0.2-17

    包装:1-40(升)瓶装,标准充装压力:9.5 MPa,组分和浓度范围可根据要求配制。