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    液态气体

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    1、高纯液氧

    产 品 规 格

    纯度 杂质含量 Ar N2 CH4 CO2
    ≥99.995% ppm ≤5 ≤20 ≤2 ≤1

    2、液氩

    产 品 规 格

    品名 纯度 杂质含量 N2 O2 H2 总碳
    高纯液氩 ≥99.999% ppm ≤4 ≤2 ≤1 ≤2
    纯液氩 ≥99.99% ppm ≤50 ≤10 ≤5 ≤10

    3、液氮

    产 品 规 格

    品名 纯度 杂质含量 O2
    高纯液氮 ≥99.999% ppm ≤3
    纯液氮 ≥99.99% ppm ≤50